日本日酸TANAKA壓力計線過濾器高純度氣體用 TANAKA日酸 AT-V14M-50S-0.3MPaC-LTG3S 特點介紹

可應(yīng)對從兆位到千兆位時代的超高純度氣體用外圍設(shè)備。

在干凈的環(huán)境下，嚴格的質(zhì)量管理下進行生產(chǎn)。

包括He檢定測試在內(nèi)的全部實施出貨檢查。

還可制作電解研磨規(guī)格品。(Ra0.25μm)

S-TORR.TORR調(diào)節(jié)器中也采用的高可靠性壓力計。

日本日酸TANAKA壓力計線過濾器高純度氣體用 TANAKA日酸 AT-V14M-50S-0.3MPaC-LTG3S 規(guī)格參數(shù)

低壓管路過濾器一（TLF硅片）在元件中加入特氟隆膜

使用時，由于滾筒直徑的均勻化，即使是小顆粒，也能高效捕捉。

低壓管路過濾器一（TLF硅片）標準對內(nèi)表面進行研磨處理，其效率更高

可以清潔度供給氣體。

高壓管路過濾器1（SHF硅片）也可對應(yīng)內(nèi)表面研磨。

高壓管路過濾器一（SHF硅片也可制作大型特訂品。

包括直線測試在內(nèi)的所有出貨檢驗均已實施。

小型·重量輕，可減小配管間距。

●接氣部:布爾登管:株L316SUS合金Mo-Cr-Ni/L316SUS非接氣部:外殼:其他304SUSP1070A、304S

●（7505B JIS（級相當于1.6JIS3m、Pa10-11×1.3（UNF規(guī)格9/16-18（秒以下/3m、Pa10-9×1.3（規(guī)格1/4NPT（秒以下/度C40~-5:外部泄漏量:使用