日本anelva佳能離子泵/Noble泵控制裝置真空  P-500 特點(diǎn)介紹

是在10 -2 Pa～10 -4 Pa以下的高真空下操作離子泵或惰性泵的控制裝置。顯示屏采用大型綠色 LED 來提高遠(yuǎn)距離可視性

在考慮與以前型號(hào)的兼容性的同時(shí)，我們實(shí)現(xiàn)了改進(jìn)的功能以及 CE 和 RoHS 合規(guī)性。

除了豐富的I/O功能外，還可以通過添加選件板來支持RS232C通信，非常適合自動(dòng)化設(shè)備和遠(yuǎn)程控制設(shè)備。

離子泵和惰性泵有兩種類型：超高真空型和高輸出型，可操作壓力范圍和啟動(dòng)壓力根據(jù)所連接的泵而變化。

日本anelva佳能離子泵/Noble泵控制裝置真空  P-500 特點(diǎn)介紹

實(shí)現(xiàn)了高壓電源所需的高水平基本功能，例如提高了監(jiān)控高性能電流和電壓值時(shí)的最小可顯示值、增加了壓力顯示以及各種保護(hù)功能兼容硬制程

兼容各種I/O標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備的外部控制，包括兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定點(diǎn)、

斷電自動(dòng)恢復(fù)（可選）

高兼容性

確保遠(yuǎn)程連接器、輸入電纜和輸出電纜與之前型號(hào)的兼容性

通訊兼容

RS232C（可選（工廠內(nèi)置兼容））

符合標(biāo)準(zhǔn)

CE 標(biāo)志，符合 RoHS 指令

電子顯微鏡、電子束光刻設(shè)備

離子束設(shè)備、掩模修復(fù)設(shè)備

存儲(chǔ)環(huán)、光束線等加速器相關(guān)系統(tǒng)

MBE、表面分析設(shè)備等超高真空設(shè)備、各種分析設(shè)備等