日本進(jìn)口OXIDE連續(xù)深紫外激光器半導(dǎo)體檢查 Frequad系列 特點(diǎn)介紹

Frequad系列CW DUV激光器基于Frequad-HP、Frequad-M和Frequad-C技術(shù)，是深紫外（DUV）波長266nm連續(xù)波（CW）單頻波長轉(zhuǎn)換激光器，具有更多歷史。

這是一種產(chǎn)生新波長的 CW DUV 波長轉(zhuǎn)換激光器。

配備266 nm Frequad系列中培育的非線性晶體和伺服鎖定技術(shù)，實現(xiàn)穩(wěn)定且長壽命的CW操作。我們提供各種波長的連續(xù)激光器以滿足您的需求。

日本進(jìn)口OXIDE連續(xù)深紫外激光器半導(dǎo)體檢查 Frequad系列 規(guī)格參數(shù)

?高可靠性非線性光學(xué)晶體

我們將根據(jù)波長提出最佳的非線性波長轉(zhuǎn)換晶體。憑借 Oxide 品質(zhì)，BBO 晶體在 266 nm 波長下單點(diǎn)壽命超過 3000 小時，功率輸出為 1 W。此外，由于晶體劣化很少，因此保證了高光束質(zhì)量和長期穩(wěn)定運(yùn)行。

?先進(jìn)的伺服鎖定技術(shù)

高速、高精度音圈電機(jī)（VCM）伺服執(zhí)行器驅(qū)動激光器穩(wěn)定的連續(xù)運(yùn)行。

CW DUV Frequad 系列添加了新波長。波長為213 nm，輸出為10mW。通過利用傳統(tǒng)的 Frequad 系列平臺，我們實現(xiàn)了相當(dāng)?shù)氖褂脡勖涂煽啃浴?/p>