日本applics監(jiān)測半導體制造工藝臭氧濃度計 OM-101-01 特點介紹

OM-101型系列是用于監(jiān)測半導體制造工藝等中使用的添加臭氧的超純水中溶解臭氧濃度的計量器。安裝簡單，不占用空間，操作性優(yōu)良

小型輕量變換器，檢測器分離型變換器DIN 96×采用96mm面板安裝型。

內(nèi)聯(lián)式檢測器無需繁瑣的采樣工作。由于是連續(xù)測量，因此可以實時確認濃度。

操作性結(jié)構(gòu)簡單，操作極為簡單。

輸出4～20mA測量值輸出，上、下限的警報輸出均為標準配置。

產(chǎn)品名稱溶解臭氧濃度計分離式（低濃度）

模型OM-101-01

測量范圍0～1mg/L

測量方法紫外線吸收法

標準設備輸出DC4~20mA輸出/報警輸出（上限/下限1a接點）

評論藍寶石規(guī)格可選電源：AC100V

日本applics監(jiān)測半導體制造工藝臭氧濃度計 OM-101-01 規(guī)格參數(shù)

分離型低濃度用溶解臭氧計型式OM-101-01測定方法紫外線吸光度法測定標準范圍0～1mg/L（最小顯示0.01mg/L）表示3位數(shù)LED傳輸輸出信號DC4～20mA絕緣型負載電阻600Ω以下直線性±4%FS以內(nèi)重復性±2%FS以內(nèi)穩(wěn)定性零漂移…+/-4%FS/月以內(nèi)的跨度漂移…±4%FS/月內(nèi)響應性90%響應30秒內(nèi)（試樣流量為100mL/min）凝膠校正無臭氧水通水，通過零修整器調(diào)整水泵校準基于樣品手分析值的方法，或使用內(nèi)置校準刻度盤的方法樣品水條項目流量…50～120mL/min范圍內(nèi)的恒定流量/壓力…0.3MPa（3.0Kgf/cm2）以下/溫度…15～40°C光源壽命約10000小時警報觸點輸出警報設定...上下各前面板修剪器設定